GB/T 1552-1995 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

百检网 2022-10-21

标准简介

本标准规定了用直排四探针测量硅、锗单晶电阻率的方法。本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的*近距离二者均大于探针间距的4倍的硅、锗单晶的体电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍的硅、锗单晶圆片(简称圆片)的电阻率。
英文名称:Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon and germanium with a collinear four-probe array
标准状态:作废
替代情况:替代GB 1552-1979;GB 5251-1985;GB 6615-1986;被GB/T 1551-2009代替
中标分类:冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类:冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1995-04-18
实施日期:1995-01-02
作废日期:2010-06-01
页数:平装16开, 页数:17, 字数:29千字

前言

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