GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

百检网 2022-10-21

标准简介

GB/T11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05μm,微粒的浓度范围为0~10000个/mL。
英文名称:Test method for particles in electronic grade water by instrument
标准状态:现行
替代情况:替代GB/T 11446.9-1997
中标分类:电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类:31-030
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
出版日期:2014-08-15
页数:8页

前言

GB/T11446预计结构如下:———GB/T11446.1 电子级水;———GB/T11446.2 (待定);———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。本部分为GB/T11446的第9部分。本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本部分代替GB/T11446.9—1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》。本部分与GB/T11446.9—1997相比,主要有下列变化:———重新对“3.1微粒”进行了定义(见第3章);———增加了“5干扰因素”(见第5章);———删除了“11注意事项”(见1997年版的第11章);———修订了Pi 的定义。本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。本部分由中国电子技术标准化研究院归口。本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。本部分主要起草人:王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。本部分所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T11446.9—1989、GB/T11446.9—1997。

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