标准简介
英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
出版日期：2009-12-01
页数：36页
前言
电子测量与仪器综合相关标准
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