标准简介
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。英文名称：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-03-06
实施日期：2020-10-01
出版日期：2020-02-01
页数：16页
前言
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