标准简介
本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。英文名称：Terminology for nano positioning and scanning stage
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合
ICS分类：综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.39精密机械、珠宝 (词汇)
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
出版日期：2020-04-01
页数：16页
前言
工业自动化与控制装置综合相关标准
