标准简介
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
标准状态：现行
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
出版日期：2011-10-01
页数：16页
前言
本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。本标准起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人:邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。
