标准简介
本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。英文名称：High purity copper alloy target for integrated circuit
标准状态：现行
中标分类：冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金
ICS分类：冶金>>有色金属产品>>77.150.30铜产品
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2020-11-19
实施日期：2021-10-01
出版日期：2020-11-01
页数：16页
前言
重金属及其合金相关标准
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