标准简介
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。本文件适用于粒径0.1 um～5um粒子浓度的监测。英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 25915.2-2010
中标分类：医药、卫生、劳动保护>>劳动安全技术>>C70工业防尘防毒技术
ICS分类：13.040.35
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2021-08-20
实施日期：2022-03-01
出版日期：2021-08-01
页数：20页
前言
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