标准简介
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。英文名称：Silver target
标准状态：现行
中标分类：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
ICS分类：冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-11-01
出版日期：2011-11-01
页数：12页
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人:闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。
