标准简介
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。�ケ颈曜际视糜谠诠栊旧铣粱�生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数)的测定，测定范围为0.01×10����13�� cm����-3��～500×10����13�� cm����-3��。��英文名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 4059-2007
中标分类：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：冶金>>77.040金属材料试验
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
出版日期：2019-01-01
页数：12页
前言
半金属及半导体材料分析方法相关标准
