标准简介
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。 本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定，测定范围：0.01×1013atoms/cm3～5×1015atoms/cm3。英文名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 4060-2007
中标分类：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
ICS分类：冶金>>77.040金属材料试验
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
出版日期：2018-09-01
页数：12页
前言
半金属及半导体材料分析方法相关标准
