标准简介
本标准规定了用于表面元素和化学态分析的俄歇电子能谱的动能标校准方法。并且还规定了校准日程安排,用于在中间某一能量值测试动能标线性、在高低动能区各取一点确认标尺校准的不确定度、校正标尺小漂移以及规定在95%置信度时该动能标校准的扩展不确定度(这个不确定度包括实验室之间研究中观察到的各种现象,但不涵盖所有可能的缺陷)。本标准仅适用于配备溅射清洁离子枪的仪器。不适用于以下情况的仪器:动能标尺的误差随能量明显非线性变化;工作于谱仪的相对分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 为1.5eV 模式时,要求容差*限为±0.05eV 或更小。也不适用于电子枪不能在5keV~10keV 能量范围操作的仪器。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能设定的点加以验证,且应按仪器制造商的推荐程序进行。英文名称：Surface chemical analysis—High-resolution Auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis
标准状态：现行
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2013-09-18
实施日期：2014-06-01
出版日期：2014-06-01
页数：28页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准使用重新起草法修改采用ISO17974:2002《表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准》。本标准与ISO17974:2002技术差异及其原因如下:———关于规范性引用文件,本标准做了具有技术性差异的调整,以适应我国的技术条件,调整的情况集中反映在第2章“规范性引用文件”中,具体调整如下:● 用GB/T22461—2008代替ISO18115:2001,IDT;● 增加了GB/T27025—2008代替ISO17025—2005,MOD。本标准还做了下列编辑性修改:———将标准名称修改为《表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准》;———将缩略语、图、表、公式、附注等进行规范性修改。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本标准起草单位:清华大学、厦门大学。本标准主要起草人:姚文清、王水菊、张占男、牟豪杰、李展平、朱永法。
