标准简介
本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。 本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。英文名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-07-12
实施日期：2018-02-01
出版日期：2017-07-27
页数：16页
前言
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