标准简介
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。英文名称：Gas for electronic industry—Trifluoromethane
标准状态：现行
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-07-31
实施日期：2017-11-01
出版日期：2017-08-01
页数：12页
前言
工业气体与化学气体相关标准
