标准简介
本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分产器件生产设备联动调试及试生产。英文名称：Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering
标准状态：现行
中标分类：工程建设>>机电制造业工程>>P82电子制造业工程
ICS分类：31电子学
发布部门：住房和城乡建设部
发布日期：2008-12-15
实施日期：2009-07-01
出版日期：2009-07-01
页数：70页
前言
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