标准简介
本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。 本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。英文名称：Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
标准状态：现行
中标分类：>>>>23.160
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-05-14
实施日期：2018-12-01
出版日期：2018-05-01
页数：20页
前言
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