标准简介
本规范适用于新建、改建和扩建的电子工厂的特种气体系统工程的设计、施工和验收，不适用于特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。前言
1 总则2 术语3 特总气体站房4 特种气体工艺系统5 硅烷站6 特种气体管道输送系统7 建筑结构8 电气与防雷9 生命安全系统10 给水排水及消防11 采暖通风与空气调节12 特种气体系统工程施工13 特种气体系统验收附录本规范用词说明引用标准名录附:条文说明1、检测行业全覆盖，满足不同的检测；
2、实验室全覆盖，就近分配本地化检测；
3、工程师一对一服务，让检测更精准；
4、免费初检，初检不收取检测费用；
5、自助下单 快递免费上门取样；
6、周期短，费用低，服务周到；
7、拥有CMA、CNAS、CAL等权威资质；
8、检测报告权威有效、中国通用；
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