标准简介
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、储存和安全。 本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。英文名称:Electronic grade trimethylaluminium
标准状态:现行
中标分类:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:国家市场监督管理总局.
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-01-01
出版日期:2018-09-01
页数:12页
前言
工业气体与化学气体相关标准