标准简介
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。英文名称：Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method
标准状态：现行
中标分类：电工>>电气设备与器具>>K61工业电热设备
ICS分类：机械制造>>工业炉>>25.180.10电炉
发布部门：国家发展和改革委员会
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004-08-01
作废日期：2017-05-12
出版日期：2004-08-01
页数：11页
前言
工业电热设备相关标准
.png)
