标准简介
本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。英文名称:Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
标准状态:现行
替代情况:J78
中标分类:机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类:流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门:国家发展和改革委员会
发布日期:2006-05-06
实施日期:2006-10-01
页数:11页
前言
真空技术与设备相关标准