标准简介
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。英文名称：Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L92电子设备用绝缘零件
ICS分类：电气工程>>29.260特殊工作条件用电气设备
发布日期：2002-10-30
实施日期：2003-03-01
出版日期：2004-04-18
页数：12页
前言
电子设备用绝缘零件相关标准
