标准简介
本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于*限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。英文名称：Basic parameter series of evaporation plating equipment
标准状态：现行
替代情况：SJ 1098-77 SJ 1099-77
中标分类：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
ICS分类：电子学>>31.020电子元件综合
发布部门：电子工业部
发布日期：1997-09-03
实施日期：1998-01-01
出版日期：1998-01-01
页数：4页
前言
技术管理相关标准
