YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——基二氯氢硅的测定

百检网 2022-10-29

标准简介

本标准第1部分规定了三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定方法,适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定,检测范围为0.00001%~1.00%。本标准第2部分规定了四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定方法。本标准适用于四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定,检测范围为0.00001%~1.00%。
英文名称:Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane
标准状态:作废
替代情况:被YS/T 987-2021代替
中标分类:>>>>  >>>>17
ICS分类:冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
作废日期:2022-04-01
出版日期:2015-04-01
页数:12页

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。本标准参加起草单位:乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、新特能源股份有限公司。本标准主要起草人:敖细平、王波、黄代文、梁洪、刘畅、姚淑、荆凡、杨艳芬、银波、黄彬。

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