标准简介
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～****。英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
标准状态：现行
中标分类：>>>> >>>>17
ICS分类：冶金>>77.040金属材料试验
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
出版日期：2015-04-01
页数：8页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司。本标准参加起草单位:天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、峨嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司。本标准主要起草人:敖细平、王波、梁洪、刘畅、张华端、古行乾、王阿丽。
