标准简介
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。英文名称：Vacuum sputtering coating plant
标准状态：现行
替代情况：替代JB/T 8945-1999
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2010-02-11
实施日期：2010-07-01
出版日期：2010-07-01
页数：7 页
前言
真空技术与设备相关标准
