标准简介
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。英文名称：Platinum target
标准状态：现行
中标分类：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
ICS分类：冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
出版日期：2013-03-01
页数：8页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
