YS/T 28-1992 硅片包装

百检网 2022-10-30

标准简介

本标准规定了硅片包装的分级、技术要求、操作、运输和贮存。本标准适用于硅抛光片和硅外延片的包装。
标准状态：作废
替代情况：被YS/T 28-2015代替
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：中国有色金属工业总公.
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
作废日期：2015-10-01
出版日期：1993-01-01
页数：3页

前言

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