标准简介
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。英文名称:Evaporated titanium material
标准状态:现行
中标分类:冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金
ICS分类:冶金>>有色金属产品>>77.150.50钛产品
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
出版日期:2017-01-01
页数:12页
前言
稀有轻金属及其合金相关标准