YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

百检网 2022-10-30

标准简介

本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积。
英文名称：Chemical vapor deposition furnace
标准状态：现行
中标分类：冶金>>冶金机械设备>>H91炼焦、炼结设备
ICS分类：冶金>>77.180冶金设备
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
出版日期：2015-10-01
页数：12页

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人:戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。

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