标准简介
本规范规定了微机电(MEMS)线加速度计的校准项目和校准方法,适用于单敏感轴MEMS线加速度计。英文名称：Calibration Specification for MEMS Linear Accelerometers
标准状态：现行
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2013-09-02
实施日期：2013-12-02
出版日期：2013-12-02
页数：28页
前言
微机电(MEMS)线加速度计广泛应用于国民经济各领域,基于此考虑,结合微机电(MEMS)线加速度计校准的实际情况,参照国际电工委员会IEC (INTERNATIONALELECTROTECHNICALCOMMISSION )编写的60747-14-4Ed.1/CDVIEC 半导体加速度计(SEMICONDUCTORDEVICES—Part14-4:Semiconductoraccelerometers)编写本规范。
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