标准简介
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。英文名称：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
标准状态：现行
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2012-06-18
实施日期：2012-09-18
出版日期：2012-09-18
页数：20页
前言
本规范为初次发布。制定本规范的目的主要是解决工业中扫描探针显微镜校准问题。规范编制中参考了国际上纳米计量领域的一些理论性研究成果,并以实际纳米计量工作中的一些实验数据为基础制定了本规范。
