JJF(电子)0072-2021 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

百检网 2022-11-04

标准简介

本本规范适用于测试范围在 0.1Ω·cm~200.0Ω·cm(厚度 100 μm~1000μm)的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统，检测由被测半导体晶片感应的涡流，辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成。
标准状态：现行
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
页数：21页

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