GB/T 26251-2010 氟和氟氮混合气--百检网

百检网 2022-11-08
【英文标准名称】: Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
【中文标准名称】: 氟和氟氮混合气
【标准号】: GB/T 26251-2010
【标准状态】: 现行
【发布日期】: 2011-01-14
【实施日期】: 2011-05-01
【发布部门】: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;中国国家标准化管理委员会
【起草单位】: 中核红华特种气体股份有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;山东锐华氟业有限公司;核工业理化工程研究院;西南化工研究设计院
【起草人】: 杜伟华;贺国武;李建浩;李春晓;倪志强;邓建平;周鹏云
【标准技术委员会】: 全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203)
【中国标准分类号】: G86
【国际标准分类号】: 71_100_20

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