GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼--百检网

百检网 2022-11-08
【英文标准名称】: Gases for electronic industry-Boron trichloride
【中文标准名称】: 电子工业用气体 三氯化硼
【标准号】: GB/T 17874-2010
【标准状态】: 现行
【发布日期】: 1999-09-16
【实施日期】: 2011-05-01
【发布部门】: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;中国国家标准化管理委员会
【起草单位】: 西南化工研究设计院;上海华爱色谱分析技术有限公司;光明化工研究设计院
【起草人】: 孙福楠;方华;庄鸿涛;周鹏云
【标准技术委员会】: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
【中国标准分类号】: G86
【国际标准分类号】: 71_100_20

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