GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法--百检网

百检网 2022-11-08

【英文标准名称】: Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
【中文标准名称】: 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
【标准号】: GB/T 26070-2010
【标准状态】: 现行
【发布日期】: 2011-01-10
【实施日期】: 2011-10-01
【发布部门】: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局;中国国家标准化管理委员会
【起草单位】: 中国科学院半导体研究所
【起草人】: 陈涌海;赵有文;提刘旺;王元立
【标准技术委员会】: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
【中国标准分类号】: H17
【国际标准分类号】: 77_040_99

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