中空轴伺服电机库存系列：
APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH
应用围：
1，半导体制造工业
2，设备应用
A.曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
B.清洗、蚀刻设备 用于蚀刻，清洗，去膜设备。
C.清洗设备 适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。
技术含量
设备条件
高转速(5000rpm~8000rpm) 真空轴
加/减速时间 冷却系统(水冷系统)
低噪音和振动 zui低公差
中空轴尺寸zui小化处理 按照客户需求柔性定制
采用重叠设计是尺寸zui小化
WhyLSMecapion
具备定制特种电机的丰富经验
行业资深设计工程师
柔性生产及加工体系
伺服系统控制和驱动技术
中空轴伺服电机和编码器技术
产品规格：法兰尺寸：80mm-100mm 转速5000R-6000R 额定扭矩：0.62Nm-2.5Nm 额定功率：300W-700W 涂胶显影设备 蚀刻 清洗 去膜设备
开发完成半导体设备8及12晶圆用 spinner电机适用于涂胶，显影及清洗工程
实现高效率瞬间加速特性-100.000rps以上
可根据客户的要求，定做各种SPinner电机
按照客户的要求提供多种中空轴
采用磁性流体密封，强化耐环境性
表面进行特殊涂布处理，强化耐腐蚀性
中空轴伺服电机库存系列：
APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH
