GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件 现行

标准号：GB/T 37416-2019
中文标准名称：洁净机器人通用技术条件
英文标准名称：General specifications of clean-room robot
标准状态：现行,发布于2019-05-10; 实施于2019-12-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2019-05-10
实施日期：2019-12-01
中国标准分类号：25.040.40
国际标准分类号：25.040.40
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
执行单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管部门：中国机械工业联合会
起草单位：沈阳新松机器人自动化股份有限公司;中国科学院沈阳自动化研究所;大连理工大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司;北京机械工业自动化研究所有限公司;东北大学;沈阳芯源微电子设备有限公司;北京锐洁机器人科技有限公司
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