GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法 现行

标准号：GB/T 36969-2018
中文标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
英文标准名称：Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
标准状态：现行,发布于2018-12-28; 实施于2018-12-28; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
中国标准分类号：17.040.20
国际标准分类号：17.040.20
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
起草单位：上海交通大学;纳米技术及应用国家工程研究中心
相近标准：20091793-T-491 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法; GB/T 33714-2017 纳米技术 纳米颗粒尺寸测量 原子力显微术; 20130922-T-491 纳米技术 纳米颗粒尺寸测量 原子力显微术; 20140894-T-491 纳米技术 氧化石墨烯厚度测量 原子力显微镜法; 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序; GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法; 20078478-T-491 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法; 20131701-T-469 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法; 20210658-T-491 纳米技术 扫描电子显微术测量纳米颗粒尺寸及形状分布; 纳米技术 扫描电子显微术测量纳米颗粒尺寸及形状分布