GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 现行

标准号：GB/T 36646-2018
中文标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
英文标准名称：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
标准状态：现行,发布于2018-09-17; 实施于2019-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
中国标准分类号：31.220
国际标准分类号：31.220
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司;中国电子技术标准化研究院
相近标准：20130022-T-469 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备; GB/T 14264-2009 半导体材料术语; 20181808-T-469 半导体材料术语; 20062494-T-469 半导体材料术语; 半导体材料术语; GB/T 14264-1993 半导体材料术语; GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法; 20151789-T-469 半导体材料牌号表示方法; 半导体材料牌号表示方法; GB/T 14844-1993 半导体材料牌号表示方法