GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法 现行

标准号：GB/T 4060-2018
中文标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文标准名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
标准状态：现行,发布于2018-09-17; 实施于2019-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司;洛阳中硅高科技有限公司;亚洲硅业（青海）有限公司;峨嵋半导体材料研究所
全部替代标准：GB/T 4060-2007
相近标准：GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法; 20153656-T-469 硅多晶真空区熔基硼检验方法; 20031797-T-610 硅多晶真空区熔基硼检验方法; 硅多晶真空区熔基硼检验方法; GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法; GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法; GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; 20153657-T-469 硅多晶气氛区熔基磷检验方法