GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片 现行

标准号：GB/T 12964-2018
中文标准名称：硅单晶抛光片
英文标准名称：Monocrystalline silicon polished wafers
标准状态：现行,发布于2018-09-17; 实施于2019-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;浙江省硅材料质量检验中心;天津市环欧半导体材料技术有限公司;上海合晶硅材料有限公司;浙江海纳半导体有限公司;有色金属技术经济研究院
全部替代标准：GB/T 12964-2003
相近标准：GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片; 20151794-T-469 硅单晶抛光片; 硅单晶抛光片; GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片; GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片; 20200799-T-469 碳化硅单晶抛光片; 碳化硅单晶抛光片; 20080028-T-469 300mm 硅单晶抛光片; 20110061-T-469 碳化硅单晶抛光片; SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范