GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法 现行

标准号：GB/T 32281-2015
中文标准名称：太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
英文标准名称：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2017-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
中国标准分类号：77.040.30
国际标准分类号：77.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;中铝宁夏能源集团有限公司;洛阳鸿泰半导体有限公司;北京合能阳光新能源技术有限公司;宁夏银星多晶硅有限责任公司;新特能源股份有限公司
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