GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 现行

标准号：GB/T 24578-2015
中文标准名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
英文标准名称：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
标准状态：现行,发布于2015-12-10; 实施于2017-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-12-10
实施日期：2017-01-01
中国标准分类号：77.040
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研新材料股份有限公司;浙江省硅材料质量检验中心;万向硅峰电子股份有限公司
全部替代标准：GB/T 24578-2009
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