GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 现行

标准号：GB/T 31470-2015
中文标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
英文标准名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
标准状态：现行,发布于2015-05-15; 实施于2016-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
中国标准分类号：17.220.20
国际标准分类号：17.220.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心;苏州晶瑞化学有限公司;中国电子技术标准化研究院;天津中环**材料技术有限公司
相近标准：20081116-T-469 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则; GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法; 20075691-T-469 X射线光电子能谱仪检定方法; 表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法; GB/T 19500-2004 X-射线光电子能谱分析方法通则; GB/Z 32490-2016 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序; 20110878-T-469 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序; GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南; 20121403-T-469 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南; SJ/T 10714-1996 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法