GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯 现行

标准号：GB/T 18994-2014
中文标准名称：电子工业用气体 高纯氯
英文标准名称：Gases for electronic industry―High purity chlorine
标准状态：现行,发布于2014-12-22; 实施于2015-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-07-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院有限公司;佛山市华特气体有限公司;太和气体（荆州）有限公司;光明化工研究设计院有限公司;上海华爱色谱分析技术有限公司;上海仪盟科技有限公司
全部替代标准：GB/T 18994-2003
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