GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法 现行

标准号：GB/T 29851-2013
中文标准名称：光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
英文标准名称：Test method for measuring Boron and Aulminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行,发布于2013-11-12; 实施于2014-04-15; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心;国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心;中国电子技术标准化研究院;天津市环欧半导体材料技术有限公司
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