GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 现行

百检网 2021-05-26
标准号:GB/T 29844-2013
中文标准名称:用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
英文标准名称:Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
标准状态:现行,发布于2013-11-12; 实施于2014-04-15; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:2013-11-12
实施日期:2014-04-15
中国标准分类号:31.030
国际标准分类号:31.030
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:上海华虹NEC电子有限公司
相近标准:20067104-T-469 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范; GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范; 20153727-T-469 集成电路制造中套刻检测图形规范; 集成电路制造中套刻检测图形规范; GB/T 8976-1996 膜集成电路和混合膜集成电路总规范; SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语; GB/T 12842-1991 膜集成电路和混合膜集成电路术语; GB/T 9178-1988 集成电路术语; GB/T 16465-1996 膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用能力批准程序); GB/T 15138-1994 膜集成电路和混合集成电路外形尺寸

百检能给您带来哪些改变?

1、检测行业全覆盖,满足不同的检测;

2、实验室全覆盖,就近分配本地化检测;

3、工程师一对一服务,让检测更精准;

4、免费初检,初检不收取检测费用;

5、自助下单 快递免费上门取样;

6、周期短,费用低,服务周到;

7、拥有CMA、CNAS、CAL等权威资质;

8、检测报告权威有效、中国通用;

客户案例展示

  • 上海朗波王服饰有限公司
  • 浙江圣达生物药业股份有限公司
  • 天津市长庆电子科技有限公司
  • 上海纽特丝纺织品有限公司
  • 无锡露米娅纺织有限公司
  • 东方电气风电(凉山)有限公司