GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 现行

标准号：GB/T 26070-2010
中文标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
英文标准名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
标准状态：现行,发布于2011-01-10; 实施于2011-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：77.040.99
国际标准分类号：77.040.99
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院半导体研究所
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