GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 现行

标准号：GB/T 13388-2009
中文标准名称：硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
英文标准名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料股份有限公司
全部替代标准：GB/T 13388-1992
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF847-0705。
采标中文名称:硅片参考面晶向X射线测试方法。
相近标准：20065628-T-469 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法; GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法; GB/T 39520-2020 弹簧残余应力的X射线衍射测试方法; 20173582-T-469 弹簧残余应力的X射线衍射测试方法; 弹簧残余应力的X射线衍射测试方法; GB/T 14011-1992 阴*射线管X射线辐射测试方法; SN/T 3514-2013 电工钢晶粒取向与无取向鉴定方法 X射线衍射测定织构法; GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法; GB/T 6619-1995 硅片弯曲度测试方法; 20065632-T-469 硅片弯曲度测试方法