GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范 现行

标准号：GB/T 24468-2009
中文标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
英文标准名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
标准状态：现行,发布于2009-10-15; 实施于2009-12-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-15
实施日期：2009-12-01
中国标准分类号：17.040.30
国际标准分类号：17.040.30
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究所
采标情况：本标准修改采用其他国际标准：SEMI E10-0304:2004。
采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范。
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